Vapor phase deposition of metal oxide and sulfide thin films
- Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Entwicklung von neuartigen metallorganischen Präkursoren, die in Prozessen der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD) implementiert werden, um Dünnschichten mit verbesserten funktionalen Eigenschaften herzustellen. Dabei liegt der Fokus auf der Prozessierung der drei Materialsystemen Yttriumoxid (Y\(_2\)O\(_3\)), Europiumsulfid (EuS), und Zirconiumdioxid (ZrO\(_2\)). Durch Optimierung der Ligandensphäre von neuartigen Yttriumkomplexen können so Y\(_2\)O\(_3\) Schichten mit optimierten elektrischen Charakteristika mittels ALD abgeschieden werden. Die magnetooptischen Eigenschaften von EuS werden durch einen neuen CVD Prozess evaluiert, welcher die zukünftige Forschungsbasis für die Entwicklung von Spintroniken bildet. Im dritten Teil der Dissertation werden mediendichte ZrO\(_2\) Schichten mit Hilfe aerosolunterstützter CVD auf Stahl abgeschieden, welche die Korrosionsbeständigkeit von Stahlwerkzeugen erhöhen.
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| Author: | Sebastian Markus Josef BeerGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-84461 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-8446 |
| Subtitle (English): | a study on the interplay between precursor design, process development and functional properties |
| Referee: | Anjana DeviORCiDGND, Constantin VahlasORCiDGND, Nils Metzler-NolteORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2022/08/05 |
| Date of first Publication: | 2022/08/05 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Date of final exam: | 2021/10/08 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| GND-Keyword: | Präkursor; Synthese; CVD-Verfahren; Atomlagenabscheidung; Dünne Schicht |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Inorganic Materials Chemistry |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
| faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
