Neue Konzepte zur Diagnostik technischer Plasmaprozesse auf Basis der sphärischen und planaren Multipolresonanzsonde
- Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Erforschung neuer Diagnostikkonzepte für technische Niederdruckplasmaprozesse basierend auf der Multipolresonanzsonde, mit dem Ziel eine universell einsetzbare, minimalinvasive Messtechnik zu realisieren. Zunächst werden neue temperaturstabile Designs der Multipolresonanzsonde mit sphärischem sowie planarem Sondenkopf auf Basis keramischer Substrate untersucht und entwickelt. Im Anschluss erfolgt eine systematische Analyse der planaren Sonde, wobei mittels umfangreicher 3D-elektromagnetischer Simulationen ein Ansatz zur Extraktion relevanter Plasmaparameter, bspw. der Elektronendichte, aus deren Messgrößen abgeleitet wird. Zur Validierung erfolgen Vergleichsmessungen mit der sphärischen Sonde. Final werden minimalinvasive Messkonzepte unter Verwendung der planaren Sonde untersucht, wobei diese sowohl im Rahmen plasmagestützter dielektrischer Beschichtungsprozesse als auch Oberflächenbehandlungen in PET-Flaschen eingesetzt wird.
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| Author: | Dennis PohleORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-84157 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-8415 |
| Referee: | Ilona RolfesGND, Thomas MussenbrockORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2021/11/16 |
| Date of first Publication: | 2021/11/16 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2021/06/02 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Niederdruckplasma; Plasmadiagnostik; Plasmasonde; Modellierung; Messtechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
