Charakterisierung und Prozessoptimierung industriell relevanter Mikroplasmen
- Technische Mikroplasmen haben innerhalb des vergangenen Jahrzehnts den Übergang von der reinen Forschung hin zu einer industriellen Anwendung geschafft. Die hohe Vielfalt an Mikroplasmaquellen und Prozessumgebungen erschweren den industriellen Einsatz von Mikroplasmen. Das Ziel dieser Arbeit ist es, den Vorgang der wissensbasierten Prozessoptimierung von technischen Mikroplasmen im Kontext der industriellen Anwendung aufzuzeigen. Die untersuchten Prozesse sind die plasmaelektrolytische Oxidation (PEO) und ein mikrostrukturiertes Niederdruckplasma, integriert in einen MEMS-Mikrochip. Für den PEO-Prozess wird gezeigt, dass die Mikroentladungen in Größe, Anzahl und Elektronendichte effektiv durch eine Variation der Puls-Einschaltzeit geregelt werden können. Mittels OES und mathematischer Modellbildung in Bezug auf die MEMS-Mikroplasmaquelle können Maßnahmen zur Maximierung des Elektronenstroms bei gleichzeitiger Erhöhung der Lebensdauer der MEMS-Mikrochips erreicht werden.
Download full text files
Additional Services
| Author: | Patrick HermannsORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-83306 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-8330 |
| Subtitle (German): | von der Beschichtungstechnik bis zur Mikrosensorik |
| Referee: | Peter AwakowiczORCiDGND, Achim von KeudellORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2021/09/27 |
| Date of first Publication: | 2021/09/27 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2020/12/04 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Plasmatechnik; Regelungstechnik; Hochspannungstechnik; Prozessoptimierung; Modellierung |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
