Transient transport phenomena in high power impulse magnetron sputtering discharges
- High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) ist ein Verfahren zu Abscheidung dünner Schichten. HiPIMS Entladungen zeichnen sich durch eine Konfiguration gekreuzter elektrischer und magnetischer Felder aus. In einer solchen Konfiguration entstehen starke Ströme, welche wiederum Plasmawellen und -instabilitäten hervorrufen können. Ein Beispiel für eine solche Welle sind die sogenannten "Spokes", welche in HiPIMS Entladungen als helle Flecken zu erkennen sind, die sich mit etwa 100 km/s in die E x B Richtung der Entladung bewegen. Spokes haben eine interne Potentialstruktur und können damit den Transport von Elektronen und Ionen entscheidend beeinflussen. In dieser Dissertation werden die Eigenschaften von Spokes quantitativ vermessen und ihre Auswirkung auf den Ionentransport untersucht.
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| Author: | Julian HeldORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-83265 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-8326 |
| Referee: | Achim von KeudellORCiDGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2021/08/31 |
| Date of first Publication: | 2021/08/31 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2021/06/24 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern; Magnetronsputtern; Plasmaphysik; Plasmawelle; Plasma |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
