The chemical composition of RF discharges in methane

In dieser Arbeit wurde die chemische Zusammensetzung reaktiver Radiofrequenz- Plasmen (13.56 MHZ) mit Methan als Quellegas untersucht mittels Infrarot- Absorptionsspektroskopie mit Diodenlasern. Der experimentelle Schwerpunkt lag in der Bestimmung der Dichten von fünf für die Plasmachemie besonders wichtigen Molekülen als Funktionen von den externen Parametern (wie Leistung, Durchfluss und Kopplungsmechanismus). Zusätzlich wurde ein System aus stark vereinfachten Ratengleichungen aufgestellt. Durch Fitten der gemessenen Dichten in Abhängigkeit von der eingekoppelten Leistung oder während der Ein- und Ausschaltvorgänge konnten Informationen über die Ratenkoeffizienten gewonnen werden. Außerdem konnte die Elektronentemperatur unter der Annahme einer Elektronenenergieverteilungsfunktion (Maxwell oder Druyvesteyn) abgeschätzt werden.

Metadaten
Author:	Anna Serdyuchenko
URN:	urn:nbn:de:hbz:294-16472
Subtitle (English):	diagnostics and analysis
Document Type:	Doctoral Thesis
Language:	English
Date of Publication (online):	2006/07/14
Date of first Publication:	2006/07/14
Publishing Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:	2006/05/12
Creating Corporation:	Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:	Plasmaphysik; Gaselektronik; Verteilungsfunktion; Absorptionsspektroskopie; Reaktionskinetik
Dewey Decimal Classification:	Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
Licence (German):	Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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