Technische Hochfrequenzplasmen und ihre Wechselwirkung mit externen elektrischen Netzwerken
- Externe elektrische Netzwerke, beispielsweise Impedanzanpassungen oder Generatoren, sind notwendig, damit Hochfrequenzplasmen betrieben werden können. Verschiedene experimentelle Untersuchungen zeigen, dass die Plasmaentladung mit dem externen Kreis auf nichtlineare Art wechselwirkt. Die meisten Plasmasimulationen ignorieren diese Effekte jedoch, oder vereinfachen das externe Netzwerk erheblich, da eine vollständige Integration mit bisherigen Methoden sehr aufwändig ist. In dieser Arbeit werden verschiedene Ansätze vorgestellt, mit der die Interaktion der Systeme anwenderfreundlich simuliert werden kann. Darüber hinaus wird ein neuartiges Netzwerk für die Impedanzanpassung bei mehreren Anregungsfrequenzen entwickelt und dessen Funktionsfähigkeit mit den neuartigen Simulationsmethoden demonstriert.
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| Author: | Frederik SchmidtGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-64984 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-6498 |
| Referee: | Ralf Peter BrinkmannORCiDGND, Thomas MussenbrockORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2019/07/11 |
| Date of first Publication: | 2019/07/11 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2019/05/17 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Simulation; Entladung; Schaltung; Leistungsanpassung; Netzwerksynthese |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
