Ein neuartiger Magnetfeldsensor in Silizium-Technologie

  • In dieser Arbeit wurde ein Magnetfeldsensor in bipolarer Siliziumtechnologie beschrieben und hergestellt. Dieser Sensor besteht aus zwei monolithisch, parallel geschalteten pin-Dioden. Auf der Anodenseite werden an einem linienförmigen Injektionsort Ladungsträger erzeugt, die durch die an den Dioden anliegenden Sperrspannung zur Kathode driften. Die Kathode ist durch einen Spalt zweigeteilt. Dieser Spalt steht dem Injektionsort genau gegenüber. Ohne Magnetfeld ergibt sich eine gleichmäßige Stromverteilung auf den beiden Kathoden. Mit einem Magnetfeld werden die injizierten Ladungsträger asymmetrisch auf die beiden Kathodenhälften gelenkt. Über die gestörte Strombilanz wird das Magnetfeld messbar. Mit diesem neuen Ansatz wurden Sensoren hergestellt und mit Messungen auf ihre elektrischen und magnetischen Eigenschaften hin untersucht. Mit dem hergestellten Sensor wurde eine Magnetfeldempfindlichkeit nachgewiesen, die 23 mal höher ist als bei gemessenen Hall-Sonden in Silizium.

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Metadaten
Author:Volker SchmitzGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-4785
Referee:Jakob ScheltenGND, Kurt WesterholtGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2003/03/18
Date of first Publication:2003/03/18
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:2002/02/15
Creating Corporation:Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:PIN-Diode; Magnetfeld / Empfindlichkeit; Ladungsträger / Injektion; Hall-Sensor
Institutes/Facilities:Forschungszentrum Jülich
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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