Untersuchung des Abtrags dünner Metallschichten mit ultrakurzen Laserpulsen
- Die bekannten Vorteile des Ultrakurzpulslasers als Werkzeug können nur mit einem guten Verständnis der Abtragsprozesse und entsprechenden Bearbeitungsparameter genutzt werden. Die Simulation des Abtragsverhaltens der Goldschichten durch einzelne Laserpulse zeigte gute Übereinstimmungen mit den in Abtragsversuchen mit Wellenlängen im Bereich von 600 nm - 850 nm ermittelten Abtragsschwellen. Betrachtet wurden Goldschichten auf einem BK7-Substrat mit Titan-Haftschicht. Für Proben mit Haftschicht betrugen die Abtragschwellen 0,05 \(J/cm^{2}\) bis 0,7 \(J/cm^{2}\) bei Schichtdicken zwischen 10 nm und 300 nm. Eine Wellenlängenabhängigkeit der Abtragschwelle, welche nicht mit der Reflexion im betrachteten Wellenlängenbereich korreliert, konnte durch einen Zweiphotonenprozess erklärt werden. Proben ohne Haftschicht zeigten kein heterogenes Abtragsverhalten. Mit dem Zusammenhang \(F_{N}\) = \(F_{1}\) \(\bullet N^{S-1}\) wurde ein Inkubationkoeffizient von S=0,938 für 10nm-Schichten und S=0,789 für die übrigen Schichtdicken ermittelt.
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| Author: | Benjamin SchöpsGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-41112 |
| Referee: | Andreas OstendorfORCiDGND, Evgeny L. GurevichORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2014/07/04 |
| Date of first Publication: | 2014/07/04 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau |
| Date of final exam: | 2014/04/29 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Maschinenbau |
| GND-Keyword: | Ultrakurzzeitlaser; Abtragung; Technik; Simulation; Dünne Schicht |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Laseranwendungstechnik und Messsysteme |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau |
| faculties: | Fakultät für Maschinenbau |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
