Control of aluminium oxide deposition by variable biasing
- Aluminiumoxid \((Al_{2}O_{3})\) wird in der Halbleiterindustrie wegen seiner dielektrischen Eigenschaften eingesetzt. Die \(\gamma\)-kristalline Phase dieses Materials wird aufgrund seiner Porosität und gleichzeitig geringen Oberflächenenergie in katalytischen Prozessen verwendet, wobei für die Erzeugung eine Temperatur größer als 600°C erforderlich ist. Die gezielt einstellbare Energieverteilungsfunktion der Ionen definiert das Ionenbombardement auf die wachsende \(Al_{2}O_{3}\)-Schicht, wodurch die Mobilität von Oberflächenatomen erhöht wird. Dieses Ionenbombardement wird durch die Anzahl an induzierten Verlagerungen in der Schicht (dpa, displacement per atom) charakterisiert. Es konnte gezeigt werden, dass \(\gamma\)-\(Al_{2}O_{3}\) bei einer Temperatur von \(500°C\) ab 0,9 dpa und bei \(550°C\) Temperatur ab 0,6 dpa beobachtet wird. Mit Hilfe von XPS-Messungen von Argonatomen, die aus dem Plasma mit in die Schicht eingebaut werden, wird eine Korrelation der Bindungsenergie des Argon-Peaks mit der Mikrostruktur der Probe nachgewiesen.
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| Author: | Marina PrenzelORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-38471 |
| Referee: | Achim von KeudellORCiDGND, Teresa De los ArcosGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2013/08/05 |
| Date of first Publication: | 2013/08/05 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2013/07/09 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Aluminiumoxide; Magnetron; Phasenumwandlung; Plasmaphysik; Verdampfung |
| Institutes/Facilities: | Institut für Experimentalphysik II, Reaktive Plasmen |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
