Picosecond laser ablation of indium tin oxide thin film
- Eine große Herausforderung beim laserselektiven Abtrag von Schichten ist das Verständnis des Einflusses der thermischen Eindringtiefe. Die thermische Eindringtiefe kann durch den Laserabtrag von Schichten mit unterschiedlichen Dicken ermittelt werden, wobei die optische Eindringtiefe und die thermische Diffusionslänge hierbei eine signifikante Rolle spielen. Laserablation von Schichten durch Vor- und Rückseite demonstrieren den Einfluss der thermischen Eindringtiefe. Es wird gezeigt, dass für das Inkubationsverhalten beim Mehrfachpuls-Abtrag bei Schichtdicken in der Größenordnung der thermischen Eindringtiefe ein anderes theoretisches Modell benötigt wird, als bei Verwendung des Grundmaterials. Laserablation von Schichten durch thermische Verdampfung oder spannungsunterstützte Schichtablösung werden für unterschiedliche Substrate untersucht. Die Parameter-Optimierung für den selektiven Abtrag von Indiumzinnoxid -Schichten auf PET-Substraten durch Pikosekunden laser wird untersucht.
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| Author: | Xiao Shizhou |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-36832 |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2013/03/14 |
| Date of first Publication: | 2013/03/14 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau |
| Date of final exam: | 2012/12/19 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Maschinenbau |
| GND-Keyword: | Laserablation; Eindringtiefe; Ablation (Technik); Schichtdicke; Pulslaser |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
