From molecules to functional materials

Die vorliegende Dissertationsschrift befasst sich mit der Untersuchung ausschließlich Stickstoff koordinierter metall-organischer Komplexe im Hinblick auf deren Eignung als Präkursoren für die metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) von Metallnitriden. Sechs verschiedene Präkursorsysteme wurden untersucht: Zum einen bis-Imido-bis-Amido- und bis-Imido-bis-Amidinato-Komplexe des Wolfram und Molybdän, des Weiteren homoleptische tris-Guanidinato- und tris-Amidinato-Komplexe diverser Seltener Erden (Y, Gd, Dy, Er), ein bis-Imido-mono-Amido-mono-Guanidinato-Komplex des Wolfram und ein tris-Amido-mono-Imido-Komplex des Niob. Alle genannten Präkursorsysteme konnten zur Herstellung dünner Filme des jeweiligen Metallnitrids (Molybdännitrid, Wolframnitrid, Niobnitrid, Gadoliniumnitrid, Dysprosiumnitrid, Erbiumnitrid) verwendet werden. Im speziellen sei erwähnt, dass im Rahmen dieser Dissertation erstmals eine Serie von Seltenerdnitridfilmen mittels MOCVD hergestellt werden konnte.

Metadaten
Author:	Tobias Benjamin Thiede
URN:	urn:nbn:de:hbz:294-32025
Subtitle (English):	systematic evaluation of all nitrogen coordinated metal organic complexes as precursors for the MOCVD of metal nitride thin films
Referee:	Roland A. Fischer GND, Martin Muhler ORCiD GND
Document Type:	Doctoral Thesis
Language:	English
Date of Publication (online):	2011/10/19
Date of first Publication:	2011/10/19
Publishing Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie
Date of final exam:	2011/05/13
Creating Corporation:	Fakultät für Chemie und Biochemie
GND-Keyword:	Nitride; Dampfabscheidung; MOCVD-Verfahren; Präkursor; Dünnschichttransistor
Dewey Decimal Classification:	Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie
Licence (German):	Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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