Oxidation metallischer Nanofilme für single-use Vakuumsensorik
- Vakuumisolationspaneele (VIP) sind hervorragende Wärmedämmstoffe die üblicherweise Wärmeleitfähigkeiten von 2 bis 8 mW/m·K aufweisen. Ihre Funktionalität beruht auf der Verringerung des Innendrucks eines mit Folie umhüllten Kernmaterials, wodurch die Gaswärmeleitfähigkeit nahezu komplett unterbunden wird. Durch die Verwendung von Polymerfolien zur Aufrechterhaltung des Vakuums, sind VIP´s empfindlich gegenüber mechanischer Beanspruchung und sollten hinsichtlich ihres Innendrucks überprüft werden. Im Rahmen dieser Arbeit wird ein Sensorkonzept für die Überwachung der Vakuumqualität vorgestellt, dessen Funktionsweise auf der Oxidation metallischer Nanofilme beruht. Dadurch lassen sich resistiv arbeitende und kostengünstig herzustellende Sensoren erzeugen. Weiterhin wurde die Anwendbarkeit der natürlichen Oxidation von Aluminium, Magnesium und Kupfer für die Überwachung des Vakuums untersucht und der Zusammenhang zwischen der Widerstandsänderung und dem vorherrschenden Druck analysiert.
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| Author: | Sebastian MäderGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-31611 |
| Referee: | Ulrich KunzeORCiDGND, Theodor Doll |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2011/09/27 |
| Date of first Publication: | 2011/09/27 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2011/07/26 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Oxidation; Vakuummessung; Dünnschichtwiderstand; Sensor; Einwegprodukt |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Werkstoffe und Nanoelektronik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
