Elektrodynamik kapazitiv gekoppelter Hochfrequenzplasmen
- Auf Grund ihrer einzigartigen Eigenschaften haben sich Niedertemperaturplasmen in den letzten Jahrzehnten zu einem bedeutenden Werkzeug für die High-Tech-Industrie entwickelt. Um den steigenden Anforderungen gerecht zu werden, ist das Verständnis fundamentaler Zusammenhänge von großer Bedeutung. Die vorliegende Arbeit widmet sich den kapazitiven Hochfrequenzentladungen und behandelt drei Fragestellungen: i) Wie gelangt die Energie ins Plasma? ii) Wie kann durch geschickte Energieeinkopplung direkter Einfluss auf Plasmaprozesse genommen werden? iii) Wie können Informationen über den inneren Zustand robust und kontaminationsfrei gewonnen werden? In diesem Kontext werden spezielle mathematische Modelle entwickelt, die das nichtlineare und elektrodynamische Verhalten kapazitiver Hochfrequenzentladungen beschreiben.
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| Author: | Thomas MussenbrockORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-28252 |
| Referee: | Ralf Peter BrinkmannORCiDGND, Ludger KlinkenbuschGND |
| Document Type: | Habilitation |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2010/06/25 |
| Date of first Publication: | 2010/06/25 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2009/01/01 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Elektrodynamik; Hochfrequenzplasma; Plasmatechnik; Theoretische Elektrotechnik |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
