Investigation of growth and optical properties of plasma synthesised a-C:H(:N) nanoparticles by means of laser light scattering
- In reaktiven Plasmen können unter bestimmten Bedingungen Nanopartikel durch Volumenpolymerisation wachsen. Im Rahmen dieser Promotion wurde ein \(\textit {in situ}\) Mehrwellenlängen-Rayleigh-Mie-Streuellipsometer aufgebaut um diese Partikel zu untersuchen. Hiermit lassen sich Aussagen über die zeitliche Änderung der Partikelgröße sowie über die wellenlängenabhängigen optischen Eigenschaften des Partikelmaterials machen. Es werden Ergebnisse von amorphen Nanopartikeln diskutiert, wobei die Partikelsynthese in kapazitiv gekoppelten Plasmen mit einer Gasmischung aus Stickstoff und/oder Argon mit Acetylen stattfand. Die Partikel wurden außerdem \(\textit {ex situ}\) mittels Infrarot-Nahfeld- sowie Rasterelektronen-Mikroskopie untersucht. Des Weiteren wurden dünne Schichten unter ähnlichen Bedingungen wie bei der Partikelherstellung abgeschieden. Die mittels spektroskopischer Ellipsometrie und Fourier-transformierter Infrarotspektroskopie erhaltenen Ergebnisse werden mit den Partikeleigenschaften verglichen.
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| Author: | Raphaela MeißnerGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-26209 |
| Referee: | Jörg WinterGND, Achim von KeudellORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2009/09/21 |
| Date of first Publication: | 2009/09/21 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2009/07/14 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Nanopartikel; Ellipsometrie; Lichtstreuung; Niederdruckplasma; Dünne Schicht |
| Institutes/Facilities: | Institut für Experimentalphysik II |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
