The Plasma Absorption Probe
- Entladungen in reaktiven Gasen haben zahlreiche Anwendungen, z.B. Schichtabscheidung (Oberflächenveredelung) oder anisotropes Plasmaätzen (Halbleitertechnologie). Die Elektronendichte \(n_{e}\) ist ein entscheidender Parameter zur Charakterisierung von Entladungsprozessen. Um die Bestimmung von \(n_{e}\) in erleichterter Weise durchführen zu können, wurde in neuerer Zeit die Plasmaabsorptionssonde entwickelt. Diese Arbeit stellt jetzt frühere Schwierigkeiten dieser Diagnostik vor und präsentiert eine erfolgreiche Lösung dieser Probleme. Hierzu wurden modellgestützte und experimentelle Untersuchungen zur Plasmaabsorptionssonde durchgeführt, die Beschreibung der Sonde erfolgt bei "first-principles" und die Analyse durch numerische Berechnungen. Es wurde ein Sondendesign entwickelt, dass optimiert ist für eine effiziente Bestimmung lokaler Elektronendichten. Die Anwendung der optimierten Sonde wurde unter verschiedensten Bedingungen demonstriert.
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| Author: | Christian ScharwitzGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-21463 |
| Subtitle (English): | optimisation by model-based design variations |
| Referee: | Jörg WinterGND, Ralf Peter BrinkmannORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2008/02/19 |
| Date of first Publication: | 2008/02/19 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2008/02/01 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Plasmadiagnostik; Plasmasonde; Elektronendichtebestimmung; Plasmatechnik; Plasmaätzen |
| Institutes/Facilities: | Institut für Experimentalphysik II |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
