Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten

  • In dieser Arbeit werden Messungen an einem gepulsten RF-Plasma vorgestellt. Die Entladungsdauern liegen im Bereich 50-150° ms, die Pulsfrequenz beträgt 0,5 Hz. Als Entladungsgas dient eine Mischung aus Argon und Acetylen. Vorgestellt werden zeitaufgelöste Langmuirsondenmessungen und zeitaufgelöste Spektroskopie zur Diagnose des Plasmas und Messungen der optischen und elektrischen Eigenschaften (Brechungsindex, Leitfähigkeit) der erzeugten Filme. Zudem wird die Oberflächenmorphologie der abgeschiedenen Filme untersucht. Es zeigt sich ein sehr starker Einfluss der Pulsdauer auf die Filmeigenschaften. Dies kann dadurch erklärt werden, dass sich das Plasma während der Pulse stark verändert, ausgelöst durch die Bildung größerer Kohlenwasserstoffmoleküle und kleiner Kohlenwasserstoffpartikel bzw. Staub.

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Metadaten
Author:Siegmar RudakowskiGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-6933
Referee:Klaus WiesemannGND, Jörg WinterGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2003/03/25
Date of first Publication:2003/03/25
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:2002/11/12
Creating Corporation:Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:Plasma; Teilchen; Emissionsspektroskopie; Kohlenwasserstoffe; Leitfähigkeit
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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