Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen
- Es wurde ein auf Mikrosystemtechnik beruhendes Messverfahren entwickelt, das sowohl zeit- als auch ortsaufgelöst mechanische Schichtspannungen und die Temperatur der aufwachsenden Schicht mittels Mikrosensoren auf Chip- bzw. Waferebene bei Plasma-Beschichtungsprozessen erfassen kann. Ein weiterer Forschungsschwerpunkt war die Entwicklung einer kombinatorischen Methode zur parallelen Herstellung von Materialbibliotheken bei unterschiedlichen Synthesetemperaturen während eines Abscheideprozesses. Dazu wurde ein neuartiger Stufenheizer entwickelt, der parallel die Abscheidung kontinuierlicher Zusammensetzungsvariationen in sechs diskret regelbaren Temperaturzonen von Raumtemperatur bis hin zu 1000 °C zulässt. Der Stufenheizer dient der Erstellung erweiterter Strukturzonendiagramme, die die Zusammenhänge zwischen Plasmaparametern, der Mikrostruktur, den chemischen und physikalischen Eigenschaften und der Abscheidetemperatur kombinatorisch hergestellter Schichtsysteme visualisieren.
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| Author: | Darius G. GrochlaGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-49865 |
| Referee: | Alfred LudwigORCiDGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2016/09/09 |
| Date of first Publication: | 2016/09/09 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau |
| Date of final exam: | 2016/07/08 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Maschinenbau |
| Tag: | Sputtern |
| GND-Keyword: | Kombinatorik; Sensor; Plasma; Schichtspannung; Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl Werkstoffe der Mikrotechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau |
| faculties: | Fakultät für Maschinenbau |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
