Herstellung von Mikrostrukturen in positiven Fotolacken mit ultrakurzen Laserpulsen

In Versuchen mit positiven Fotolacken werden einfache und mehrfache 2D-Belichtungsprozesse untersucht und mit einem theoretischen Modell verglichen. Eine Abhängigkeit der Linienbreiten von der Art der Belichtung wird nachgewiesen. Folgend werden die im Zweidimensionalen ermittelten Ergebnisse auf 3D-Strukturen übertragen. Die Herstellung einfacher Gitterstrukturen ist bei einer mittleren Laserleistung von unter 8 mW möglich. Beim Belichtungsprozess ist ein unterschiedliches Verhalten des Fotolacks an der Oberfläche verglichen mit dem des Volumens zu erkennen. Die in dieser Arbeit vorgestellten Forschungsergebnisse zeigen, dass die 2PA in Kombination mit positivem Fotolack auf das LIGA-Verfahren zu übertragen ist. Bisher mit dem LIGA-Verfahren nicht herzustellende geometrische Strukturen können mit niedrigen mittleren Leistungen von 5 mW und Schreibgeschwindigkeiten von 0,1 mm/s angefertigt werden. Dazu zählen sowohl in mehrere Richtungen stark abgeschrägte als auch gedrehte Strukturen.

Metadaten
Author:	Andreas Aumann GND
URN:	urn:nbn:de:hbz:294-46389
Referee:	Andreas Ostendorf ORCiD GND, Alfred Ludwig ORCiD GND
Document Type:	Doctoral Thesis
Language:	German
Date of Publication (online):	2016/03/01
Date of first Publication:	2016/03/01
Publishing Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau
Date of final exam:	2015/08/25
Creating Corporation:	Fakultät für Maschinenbau
Tag:	3D-Strukturen; Positiver Fotolack; Zwei-Photonen Absorption
GND-Keyword:	Absorption; Photoresist; Femtosekundenlaser; Abformung; LIGA-Verfahren
Dewey Decimal Classification:	Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau
faculties:	Fakultät für Maschinenbau
Licence (German):	Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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