Kombinatorische Herstellung und Hochdurchsatz-Charakterisierung von Ta-Nb-X Schichtsystemen
- Die Dissertation befasst sich mit der erstmaligen Herstellung und Charakterisierung der ternären Dünnschicht-Materialbibliotheken Ta-Nb-Hf, Ta-Nb-Si und Ta-Nb-Ti. Für das Ta-Nb-Si-System ist die ternäre Phase \(Ta_{0,6}Nb_{0,4}Si_{2}\) bekannt. Die Systeme wurden mittels kombinatorischer Beschichtungsverfahren hergestellt und mithilfe von Hochdurchsatz-Charakterisierungsmethoden bezüglich ihrer optischen, elektrischen und strukturellen Eigenschaften charakterisiert. Anhand von Querschnittslinien wurden auffällige Bereiche der Materialbibliotheken ermittelt und detailliert untersucht, um die elektrischen und strukturellen Eigenschaften mit dem optischen Erscheinungsbild der Schichten zu korrelieren. Auf Basis der XRD-Analysen wurde für alle drei Systeme erstmalig ein vollständiges intermetallisches Dünnschicht-Phasendiagramm erstellt.
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| Author: | Alexander SiegelGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-45726 |
| Referee: | Alfred LudwigORCiDGND, Werner TheisenGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2016/02/09 |
| Date of first Publication: | 2016/02/09 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau |
| Date of final exam: | 2015/07/06 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Maschinenbau |
| GND-Keyword: | Kombinatorik; Werkstoffkunde; Dünne Schicht; Phasendiagramm; Übergangsmetall |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
